(383) 309-29-02
aist@linecross.ru, psoft@ngs.ru

Документов на сайте

Новое на сайте

Извещатель пожарный ручной ИПР
Устройство комплектное распределительное 6 (10) КВ серии К-312 НЭ КРУ-08
Агрегаты передвижные фильтровентиляционные EMK
Блок для дренирования типа бокс Rausikko
Система планово-предупредительного ремонта
Тематические обзоры
Счетная линейка
Планово-предупредительный ремонт электрооборудования, станков, машин и строительных механизмов
Система планово-предупредительного ремонта оборудования и сетей промышленной энергетики
Типовые нормы времени на программирование задач для эвм

Читаемое

Блоки управления серий ZHU, HU, HU-PIXEL
Системы химического обессоливания серии cd
Барьер искрозащиты Искра - КУВФ.426439.002 - РЭ
Подстанции трансформаторные комплектные наружной установки серии КТПН - 6 (10)/0,4 кв
Система планово-предупредительного ремонта оборудования и сетей промышленной энергетики
Типовые нормы времени на программирование задач для эвм

Системы RAMGRABER

Общие сведения

Ramgraber предлагает высококачественное оборудование для литографических процессов: центрифуги для нанесения резистов, плитки и резервуары для жидких реактивов. Центрифуга для нанесения резистов M-Spin 200 и плитка M-HP 200 также доступны в качестве интегрируемых модулей. Таким образом, с помощью оборудования Ramgraber можно выполнить многочисленные литографические процессы в одной компактной системе.
Оборудование серий RamOS и RamSI так же обеспечивает проведение литографических процессов, таких как: очистка и сушка, нанесение резиста, проявление резиста, травление, удаление резиста и т.д.
     
Внешний вид

НАСТОЛЬНЫЕ И ВЫСТРАИВАЕМЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Процессы:
  • Очистка и Сушка
  • HMDS
  • Нанесение
  • Предварительная сушка
  • Проявление
  • Задубливание
  • Травление
  • Удаление речиста
  • Очистка
  • и др.
RAMGRABER предлагает высококачественное оборудование для литографических процессов: центрифуги для нанесения резистов, плитки и резервуары для жидких реактивов. Центрифуга для нанесения резистов M-Spin 200 и плитка M-HP 200 также доступны в качестве интегрируемых модулей. Таким образом, с помощью оборудования RAMGRABER можно выполнить многочисленные литографические процессы в одной компактной системе.
     
Центрифуга M-SPIN 200

Особенности:
Настольный корпус из нержавеющей стали или встроенный корпус по желанию Заказчика
Обработка пластин диаметром до 8'' и подложек размером до 6х6''
Защитная крышка с сенсором закрытия и блокировкой процесса при открытой крышке, графическая сенсорная панель с визуализацией
Рабочая чаша из полипропилена
Программируемое линейное ускорение 1-5000 (обр/мин)/сек
До 99 рецептов с 99 шагами в каждом
Программируемое время операции от 1 сек до 999 сек
Скорость вращения до 6000/9000 обр/мин
 
 Опции:
Держатель для образцов – по спецификации Заказчика
Увеличение скорости вращения до 10000 обр/мин
Автоматизированная рука
Вакуумный насос
N2-обдув
 
Плитка M-HP 200

Особенности:
Настольный или встроенный корпус по желанию Заказчика
Обработка пластин диаметром до 8'' и подложек размером до 6х6''
Тепловая мощность 600 Вт
Регулируемоее время нагрева 1-9999 сек
Диапазон температур 20-250/300С
Покрытие из высококачественной стали
Нагревательная плита изготовлена из анодированного алюминия
 
 Опции:
Подъемные пины
N2-обдув
Вакуум
Вакуумный насос
HMDS опция
 
Встроенное расположение модулей центрифуги и плитки

Особенности:
Встраиваемые корпуса из нержавеющей стали по желанию Заказчика размещаются в вытяжном шкафу или встраиваются в рабочую поверхность
Обработка пластин диаметром до 8'' и подложек размером до 6х6''
Защитная крышка с сенсором закрытия и блокировкой процесса при открытой крышке, графическая сенсорная панель с визуализацией
Рабочая чаша из полипропилена
Программируемое линейное ускорение 1-5000 (обр/мин)/сек
До 99 рецептов с 99 шагами в каждом
Программируемое время операции от 1 сек до 999 сек
Скорость вращения до 6000/9000 обр/мин
Тепловая мощность 600 Вт
Регулируемоее время нагрева 1-9999 сек
Диапазон температур 20-250/300С
Покрытие из высококачественной стали
Нагревательная плита изготовлена из анодированного алюминия
 
 Опции:
Держатель для образцов – по спецификации Заказчика
Увеличение скорости вращения до 10000 обр/мин
Автоматизированная рука
Вакуумный насос
N2-обдув
Подъемные пины
HMDS опция
     
Оборудование для индивидуальной обработки пластин

Процессы:
  • Очистка и Сушка
  • HMDS
  • Нанесение
  • Предварительная сушка
  • Проявление
  • Задубливание
  • Травление
  • Удаление речиста
  • Очистка
  • и др.
Оборудование серий RamSI предназначено для проведение литографических процессов, таких как: очистка и сушка, нанесение резиста, проявление резиста, травление, удаление резиста и т.д.
 
ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
 
Установка обработки отдельной пластины (центрифуга)
 
Особенности:
Напольный корпус из РР или нержавеющей стали с интегрированными подсистемами: электрической, пневматической, вакуумной, вытяжной, механической и т.д.
Обработка пластин диаметром до 12'' и подложек размером до 9?9''
Защитная дверь с сенсором закрытия и блокировкой процесса при открытой двери, сенсорный экран с визуализацией
Рабочая чаша из полипропилена
Программируемая рука для подачи реагентов
Раздельный слив для разных типов реагентов
Различные типы держателей обеспечивают эффективную фиксацию образцов любых размеров и форм
Возможность подогрева реагентов до 80°С
Возможность объединения в одном корпусе нескольких камер
Программируемое линейное ускорение 1-5000 (обр/мин)/сек
Неограниченное количество рецептов с 99 шагами в каждом
Программируемое время операции от 1 сек до 999 сек
Скорость вращения до 6000/9000 обр/мин
 
Опции:
Держатель для образцов – по спецификации Заказчика
Увеличение скорости вращения до 10000 обр/мин
Автоматизированная рука с линиями подачи реагентов
Емкости для подачи реагентов
Вакуумный насос
N2-обдув
 
Возможные процессы:
Нанесение резистов
Проявление резистов
Травление и удаление резиста (stripping)
«Взрывная» литография
Очистка FEOL & BEOL
Очистка масок
Процессы с применением Озона
     
Оборудование для обработки пластин в кассетах
Процессы:
  • Очистка и Сушка
  • Проявление
  • Травление
  • Удаление резиста
  • Очистка
  • и др.
RAMGRABER предлагает высококачественное оборудование для литографических процессов: оборудование серий RamOS предназначено для обработки полупроводниковых пластин в кассетах.
 
Оборудование для фотолитографии
Установка для кассетной спрей-обработки в кислоте RamOS SAT®
Проводимые процессы:
FEOL и BEOL очистка
Травление металлов: Al, AlSi, AlSiCu, Cu и т.д.
Все процессы с озоном
Удаление резиста
Удаление полимера
Проявление
 
Установка для кассетной спрей-обработки в растворителе RamOS SST®
Проводимые процессы:
Удаление речиста
Удаление полимера
Очистка подложек
Проявление
«Взрывная» литография
 
Специальное оборудование и аксессуары
Пистолет для подачи ДИ-воды
Особенности:
Полностью изготовлен из PFA и различными способами может быть интегрирован во все системы RAMGRABER
Например, ДИ-водный пистолет можно установить на столешницу или подвесить на специальном зажимном устройстве на передней панели оборудования
Подача ДИ-воды осуществляется либо только через ручной клапан либо дополнительно через пневмоуправляемый мембранный клапан, который открывается или закрывается с помощью кнопки с подсветкой
Максимальное давление 80 psig (552 кПа)
Диафрагма 3/16" (4.8 мм)
Соединение 1/4" FNPT
Все детали, контактирующие со средой из высокочистого PFA и PTFE материала
 
Опции:
Спиральная трубка PFA 1/4"
Спиральная трубка PFA 3/8"
Спиральная трубка PE 8/10
Спиральная трубка PE 6/8
ДИ-рециркуляция
Инсталляционный фитинг (соединение между пистолетом и трубкой)
 
Пистолет для подачи азота
 
Особенности:
Полностью изготовлен из PFA и различными способами может быть интегрирован во все системы RAMGRABER
Например, ДИ-водный пистолет можно установить на столешницу или подвесить на специальном зажимном устройстве на передней панели оборудования
Подача ДИ-воды осуществляется либо только через ручной клапан либо дополнительно через пневмоуправляемый мембранный клапан, который открывается или закрывается с помощью кнопки с подсветкой
Максимальное давление 75 psig (517 кПа)
Диафрагма 3/16" (4.8 мм)
Соединение 1/4" FNPT
Фильтр 0,5 мкм PTFE мембрана
Все детали, контактирующие со средой из PFA, PTFE и полиэтилена
 
Опции:
Сменный фильтр
Спиральная трубка PFA 1/4"
Спиральная трубка PFA 3/8"
Спиральная трубка PE 8/10
 
 
Изготовитель: RAMGRABER
Поставщик: Интек Аналитика, ЗАО